Vaakasuuntainen uuni
2.Lab -laatikko uunilaitteet: 1L -36 l
3.työn lämpötila voi saavuttaa 1200 asteen -1700 asteen
*** Hintaluettelo koko yllä, kysy meiltä saadaksesi
Kuvaus
Tekniset parametrit
Johdatus jhkVaakasuuntainen uuni, se on lämmityslaitteita, joita käytetään laajasti materiaalitieteessä, kemian tekniikassa, puolijohteiden valmistuksessa ja muissa aloilla. Sen rakenteellinen ominaisuus on uuniputkien vaakasuorassa järjestelyssä, jotka lämmitetään lämmityselementeillä uunin putkien sisällä olevien materiaalien käsittelemiseksi. Se lämmittää näytettä vaakasuoraan järjestettyjen uuniputkien kautta, jolla on tarkka lämpötilanhallinta, tasainen lämmitys ja helppo käyttö.
Erityisesti puolijohteiden valmistuksessa sillä on laaja sovellus- ja merkittävä arvo. Sen ainutlaatuinen rakenne ja toiminto tekevät siitä erittäin arvokkaan sovelluksissa, kuten piikiekkojen hehkutus, lämpökäsittely, metallointiprosessi, etsausprosessi ja pakkausprosessi. Samanaikaisesti sen korkean tartunnan hallinta, korkean tehokkuuden käsittely, hyvä sopeutumiskyky ja IT: n erinomainen stabiilisuus tekevät siitä myös erittäin luotettavan ja vakaan puolijohteiden valmistuksessa.
Parametri
Työperiaate
Avaakasuuntainen uuniperustuu lämmönjohtamisen ja konvektion periaatteisiin. Kun lämmityselementti saa voiman lämmitystä varten, lämmö siirretään uuniputkeen ja näyte lämmönjohtavuuden kautta, kun taas uunin sisällä oleva kuuma ilma jakaa lämpöä koko uunin läpi konvektion kautta.
Lämmitysprosessi:
Kun lämmityselementti on virta, se tuottaa lämpöä ja siirtää sen uuniputkeen. Kun uuniputki on lämmitetty, se siirtää lämmön näytteeseen sisälle. Uuniputken erinomaisen lämmönjohtavuuden vuoksi näyte voi nopeasti saavuttaa asetetun lämpötilan.
Lämpötilan hallinta:
Lämpötilanhallintajärjestelmä tarkkailee uunin lämpötilaa reaaliajassa ja säätää lämmityselementin tehoa asetetun lämpötilan ja mitatun lämpötilan välisen eron perusteella. Kun mitattu lämpötila on korkeampi kuin asetettu lämpötila, ohjain vähentää lämmityselementin tehoa; Kun mitattu lämpötila on alhaisempi kuin asetettu lämpötila, ohjain lisää lämmityselementin tehoa. Säätämällä jatkuvasti lämmityselementin tehoa uunin sisällä oleva lämpötila voidaan pitää vakiona.
Ilmakehän hallinta:
Ilmakehän ohjausjärjestelmä hallitsee ilmakehän ympäristöä uunin sisällä säätämällä kaasun virtausnopeutta ja tyyppiä. Esimerkiksi puolijohteiden valmistusprosessissa on tarpeen hallita uunin sisällä olevaa happi- ja vesihöyrypitoisuutta näytteiden hapettumisen ja saastumisen välttämiseksi. Ilmakehän ohjausjärjestelmä voi tarkasti hallita ilmakehän ympäristöä uunin sisällä prosessivaatimusten täyttämiseksi.
Vaakaputken kaluston erityinen levitys puolijohteiden valmistuksessa
Vahvaputkekalusteessa on laaja valikoima sovelluksia puolijohteiden valmistuksessa, ja sen ainutlaatuinen rakenne ja toiminta tekevät siitä yhden puolijohdeprosessin prosessin välttämättömistä laitteista.
Perusrakenne ja työperiaate
Vahvaputkekaluste on yleisesti käytetty puolijohdeprosessointilaite, joka näyttää pitkiltä putkelta ja jossa on korkean lämpötilan reaktiokammio. Laite ottaa käyttöön ilmakehän hallintamenetelmän, ja erilaiset ilmakehän ympäristöt voidaan valita erilaisten prosessointivaatimusten mukaisesti parhaan prosessointivaikutuksen saavuttamiseksi.
Moriontaalisen putken kaluston toimintaperiaate on lämmittää uunin onkalon reagenssit, aiheuttaen heille kemiallisia reaktioita tai fysikaalisia muutoksia korkeissa lämpötiloissa, saavuttaen siten prosessointitarkoituksen. Puolijohteiden valmistuksessa vaakaputkikalusteita käytetään pääasiassa piidakäveljen hehkuttamiseen ja lämpökäsittelyyn.
Sovellus pii kiekkoon hehkutus
Paranna piidakäyttöhilan eheyttä
Piihiekko on yksi puolijohdeteollisuuden tärkeimmistä materiaaleista, ja sen laatu ja suorituskyky vaikuttavat suoraan puolijohdelaitteiden luotettavuuteen ja suorituskykyyn. Prosessoinnin aikana piikiekot ovat alttiita jyvärajan venytykselle stressin vuoksi, mikä voi johtaa piisekiteiden murtumiseen ja vaurioihin. Korkean lämpötilan hehkuttamisen kautta horiontaaliputken uunissa voidaan poistaa stressi piikiekosta, pitäen se ehjänä ja välttäen piin kiekkojen hilan vaurioita.
Hehkutusprosessin aikana pii -kiekko asetetaan horiontaalisen putken uunin sisälle ja pidetään korkeassa lämpötilassa tietyn ajanjakson ajan, vapauttaen vähitellen pii -kiekon sisäisen stressin ja uudelleen hila -kiekon hilan eheyttä parantaen siten.
Piekivojen sähköisten ominaisuuksien parantaminen
Piuskiekkojen sähköiset ominaisuudet ovat yksi keskeisistä tekijöistä, jotka vaikuttavat puolijohdelaitteiden suorituskykyyn. Hehkuttamalla horiontaalisessa putkenuunissa pii kiekkojen sähköisiä ominaisuuksia voidaan parantaa, ja niiden johtavuutta ja stabiilisuutta voidaan parantaa.
Hehkutusprosessin aikana pii -kiekko reagoi uunin sisällä olevan ilmakehän kanssa korkeissa lämpötiloissa, poistamalla pii -kiekon pinnalla olevan oksidin ja aktivoivat epäpuhtausaktomeja pii -kiekon sisällä parantaen siten sen sähköisiä ominaisuuksia.
Oksidien poistaminen piikiekkojen pinnasta
Piilakenteiden pinta sisältää usein oksideja, jotka voivat vaikuttaa niiden johtavuuteen ja stabiilisuuteen. Valmistusprosessin aikana on välttämätöntä poistaa oksidit piin kiekkojen pinnasta niiden tasaisuuden ja sileyden varmistamiseksi, mikä parantaa puolijohdelaitteiden suorituskykyä.
Maavauninen putkiuuni voi poistaa oksidit pii kiekkojen pinnalla ilmakehän hallinnan kautta. Hehkutusprosessin aikana uunin sisällä oleva ilmapiiri reagoi piin kiekon pinnalla olevan oksidin kanssa haihtuvien aineiden tuottamiseksi, jotka sitten puretaan uunin pakojärjestelmän läpi oksidin poistamisen tavoitteen saavuttamiseksi.
Levitys pii kiekkojen lämpökäsittelyssä
Seostettujen piikiekkojen hallinta
Puolijohdelaitteissa erilaisilla materiaaleilla seostettuja piidikiekkoja tarvitaan erilaisten sähkösuorituskykyvaatimusten vuoksi. Moriontaalinen putkenuuni voi käyttää erilaisia ilmakehän ohjausparametreja pii -kiekkojen dopingin asteen ja syvyyden hallitsemiseksi, jotta voidaan täyttää eri laitteiden vaatimukset piidakäveljen dopingille.
Dopingprosessin aikana pii kiekko asetetaan sykalvoputken uunin sisään ja uunin sisällä oleva ilmapiiri reagoi piikiekon kanssa, jolloin seostetut atomit pääsevät pii -kiekon sisäpuolelle. Säätämällä parametreja, kuten ilmakehää ja lämpötilaa uunin sisällä, seostettujen atomien lukumäärää ja jakautumista voidaan hallita halutun dopingvaikutuksen saavuttamiseksi.
Ohujen kalvojen valmistus pii kiekkojen pinnalle
Puolijohdevalmistuksessa on joskus tarpeen valmistaa ohutkalvo pii kiekon pinnalle sen suorituskyvyn parantamiseksi tai tiettyjen toimintojen saavuttamiseksi. Vahvaputken uunia voidaan käyttää ohutkalvojen valmistukseen pii kiekkojen pinnalla.
Ohuen kalvonvalmistusprosessin aikana pii -kiekko asetetaan vaakasuuntaisen putken frnacen sisälle, ja uunin sisällä oleva ilmakehä reagoi piin kiekon pinnan kanssa korkeissa lämpötiloissa halutun ohutkalvon tuottamiseksi. Säätämällä parametreja, kuten ilmakehän, lämpötilan ja reaktioajan uunin sisällä, kalvon paksuutta, koostumusta ja ominaisuuksia voidaan hallita.
Piihiekkojen hapettuminen ja nitring
Piihiekkojen hapettuminen ja nitridointi ovat tärkeitä prosessivaiheita puolijohteiden valmistuksessa. Horizntal -putken uunia voidaan käyttää pii kiekkojen hapettumiseen ja nitraavaan käsittelyyn.
Hapetusprosessin aikana pii kiekko asetetaan vaakasuuntaisen putken uunin uunikammioon, ja uunikammion happi reagoi piin kiekon pinnan kanssa korkeassa lämpötilassa muodostaen piidioksidikalvon. Säätämällä parametrit, kuten happipitoisuus, lämpötila ja reaktioaika uunin sisällä, piidioksidikalvon paksuutta ja ominaisuuksia voidaan hallita.
Nitrumisprosessin aikana pii -kiekko asetetaan horistimisen putken uunin sisään ja uunin sisällä oleva typpikaasu reagoi piin kiekon pinnan kanssa korkeissa lämpötiloissa muodostaen piinitridikalvon. Piilinitridiohaisissa kalvoissa on erinomainen kulutuskestävyys, korroosionkestävyys ja korkean lämpötilan stabiilisuus, jota voidaan käyttää piivoukkojen pinnan suojaamiseen tai spesifisten toimintojen saavuttamiseen.
Muut vaakaputken uunin sovellukset puolijohteiden valmistuksessa
Metalliprosessi
Metallisointiprosessi on yksi tärkeistä vaiheista puolijohteiden valmistuksessa, jota käytetään metallielektrodien tai johtimien muodostamiseen piikiekkoilla. Horizntaaliset putkenuunit voidaan käyttää hehkuttamiseen metallointiprosesseissa metallielektrodien tai johtojen tarttuvuuden ja stabiilisuuden parantamiseksi.
Hehkutusprosessin aikana metalloitunut piikiekko asetetaan horistimisen putken uunin uunikammioon ja pidetään korkeassa lämpötilassa tietyn ajanjakson ajan, jotta metallielektrodin tai johdon ja piin kiekkojen välinen sidos on tiukempi, parantaen siten sen tarttumista ja vakautta.
Syövytysprosessi
Syövytysprosessi on puolijohteiden valmistuksessa käytetty vaihe ylimääräisen materiaalin poistamiseksi piikiekkojen pinnasta. Horizntal -putkenuunia voidaan käyttää hehkuttamiseen etsausprosessin jälkeen etsausprosessin aikana syntyneiden vaurioiden ja jännityksen poistamiseksi.
Hehkutusprosessin aikana kaiverrettu piikiekko asetetaan horishtaaliseen putkenuuniin ja pidetään korkeassa lämpötilassa tietyn ajanjakson ajan, vapauttaen vähitellen pii -kiekon sisäisen jännityksen ja poistamalla hilan uudelleen, poistamalla siten etsausprosessin aikana aiheuttamat vauriot ja jännitys.
Pakkausprosessi
Pakkausprosessi on viimeinen vaihe puolijohteiden valmistuksessa, jota käytetään suojakuorten puolijohdealaitteiden kapselointiin niiden luotettavuuden ja vakauden parantamiseksi. Vahvaputkenuunia voidaan käyttää pakkausprosessien hehkuttamiseen pakkausprosessin aikana syntyneiden stressin ja vaurioiden poistamiseksi.
Hehkutusprosessin aikana pakattu puolijohdelaite sijoitetaan horishtaaliseen putkenuuniin ja pidetään korkeassa lämpötilassa tietyn ajanjakson ajan vapauttaaksesi pakkausmateriaalin sisällä olevan rasituksen vähitellen, järjestämään hilan uudelleen ja poistamaan pakkausprosessin aikana syntyneet jännitykset.
Vähennä pakokaasujen lämpötilaa parannettava lämpötehokkuus
Optimoitu konvektioosaston suunnittelu
Lisää konvektioputkien lukumäärää
Lisäämällä konvektioputkien lukumäärää, savukaasun ja lämmityspinnan välistä kosketusaluetta voidaan laajentaa lämmönvaihtotehokkuuden parantamiseksi ja pakokaasun lämpötilan alentamiseksi.
Optimoitu konvektioputken järjestely
Konvektioputken kohtuullinen järjestely tekee savukaasun lämmön sieppaamisesta ja siirtämisestä tehokkaamman. Esimerkiksi porrastettua asettelua tai spiraalista asettelua voidaan käyttää putken virtauspolun ja viipymisajan lisäämiseen.
Paranna lämmityspinnan tehokkuutta
Käytä tehokkaita lämmönsiirtomateriaaleja
Valitse materiaalit, joilla on korkea lämmönjohtavuus lämmityspintojen, kuten ruostumattomasta teräksestä, kupariseoksesta jne.
Pidä lämmityspinta puhtaana
Puhdista pöly ja lika säännöllisesti lämmityspinnalla ja pidä pinta puhtaana lämmönsiirtotehokkuuden parantamiseksi. Pölyn kertyminen ja lika vähentää lämmityspinnan lämmönsiirtokykyä, mikä johtaa pakokaasun lämpötilan nousuun.
Säädä palamisprosessi
Ylimääräisen ilmakertoimen kohtuullinen hallinta
Ilma -ylimääräinen kerroin on todellisen ilmansyötön suhde teoreettiseen ilmansyöttöön. Ylimääräisen ilmakertoimen kohtuullinen hallinta, vältä liian paljon ilmaa uuniin, voi vähentää savumäärää vähentäen siten pakokaasun lämpötilaa.
Paranna polttoaineen palamisen tehokkuutta
Optimoimalla polttimen suunnittelun ja säätämällä palamisparametreja, kuten polttoaineen ruiskutusnopeutta ja palamiskammion lämpötilaa, polttoaineen palamistehokkuutta voidaan parantaa, ja epätäydellisen palamisen polttoaineen määrää voidaan vähentää, mikä vähentää pakokaasun lämpötilaa.
Lisää jätteiden talteenottolaitteita
Asenna ilmavahvistin
Ilman esikäsittelijä voi käyttää savukaasun jätealuetta uuniin tulevan ilman esilämmittämiseen parantaen siten palamisen tehokkuutta ja vähentämällä pakokaasun lämpötilaa.
Aseta jätealue kattila
Jäälämpökattila voi palauttaa savukaasun jätealueen ja muuntaa sen hyödylliseksi energiaksi, kuten höyryksi tai kuumaan veteen, vähentäen siten pakokaasun lämpötilaa ja parantaen energian hyödyntämistehokkuutta.
Muut toimenpiteet
Vahvista eristysmittareita
Vaakaputken uunin uunin rungon hyvä lämmön säilyttämiskäsittely voi vähentää lämpöhäviötä ja vähentää pakokaasun lämpötilaa.
Säännöllinen huolto ja huolto
Vaakaputken uunin, kuten lämmityspinnan tarkistaminen, tuhkan puhdistaminen, palamisparametrien, tarkistaminen voi varmistaa sen normaalin käytön ja vähentää savun pakokaasun lämpötilan vähentämisen säännöllisesti.
On huomattava, että savun pakokaasun lämpötilan alentamisprosessissa, kuten laitteiden talous, turvallisuus ja luotettavuus, on pidettävä kattavasti. Samanaikaisesti on myös tarpeen valita asianmukaiset toimenpiteet ja menetelmät erityisten prosessivaatimusten ja käyttöolosuhteiden mukaisesti.
Lisäksi, kun pakokaasun lämpötila on liian alhainen, se voi aiheuttaa matalan lämpötilan kastepisteen korroosion lämmönvaihtopinnalla. Siksi, kun valitaan pakokaasulämpötila, tekijät, kuten lämmön hyötysuhde ja laitteiden käyttöikä, on punnitava varmistaakseen, että pakokaasujen lämpötila voi vähentää lämpöhäviötä aiheuttamatta laitteiden vaurioita.
Suositut Tagit: Vaakaputkenuuni, Kiinan vaakaputken uunien valmistajat, toimittajat, tehdas
Seuraava
HalkaisulaiteLähetä kysely
